Skip to content

Mikrosystemtechnik Auf Silizium:

Best in textbook rentals since 2012!

ISBN-10: 3519061589

ISBN-13: 9783519061588

Edition: 1995

Authors: Ulrich Hilleringmann

List price: $69.95
Blue ribbon 30 day, 100% satisfaction guarantee!
what's this?
Rush Rewards U
Members Receive:
Carrot Coin icon
XP icon
You have reached 400 XP and carrot coins. That is the daily max!

Description:

Die Mikrosystemtechnik wird in ihren Teilgebieten Mikroelektronik und Mikromechanik von der Siliziumtechnologie beherrscht. Materialeigen­ schaften und insbesondere die verbreitete, hoch entwickelte Prozeß­ technik haben andere Materialien weitgehend verdrängt. Dagegen ist das Halbleitermaterial Silizium für Anwendungen der Integrierten Optik bislang wegen seiner ungünstigen optischen Eigen­ schaften nur unzureichend beachtet worden. Erst die Mikrosystemtechnik hat zur Entwicklung einer geeigneten Integrationstechnik geführt, um die "Mechatronik" um integriert-optische Komponenten zu erweitern. Ziel dieses Buches ist es, Wege zur systemgerechten Einbindung der Integrierten Optik in die…    
Customers also bought

Book details

List price: $69.95
Copyright year: 1995
Publisher: Springer Verlag
Binding: Paperback
Language: German